模塊化平臺(tái)組件，3 孔口 316L VIM-VAR ALD 閥，1.125 in. W 密封，SC-01, NC 耐熱執(zhí)行器，電磁導(dǎo)閥
型號(hào) 6LVV-MSM-ALD3ET-W3-P-CV
規(guī)格
| 機(jī)體材料 |
316L VIM-VAR |
| 清潔工藝 |
超高純工藝規(guī)范 (SC-01) |
| Surface Mount Types |
Diaphragm Valves |
| UNSPSC (SWG01) |
40141600 |
| eClass (4.1) |
37010206 |
| eClass (5.1.4) |
37011800 |
| eClass (6.0) |
37011801 |
| eClass (6.1) |
37011801 |
| UNSPSC (10.0) |
40141621 |
| UNSPSC (11.0501) |
40141621 |
| UNSPSC (13.0601) |
40141621 |
| UNSPSC (15.1) |
40141621 |
| UNSPSC (4.03) |
40141621 |
| UNSPSC (PGE) |
401416AL |
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