NX系列無塵機(jī)器人被設(shè)計為與兩個或三個300mm的FOUP配合使用，而不需要使用軌道。NX系列在設(shè)計上與NS系列類似，但是附加的獨立軸更換了RTZ動作設(shè)計，顯著增加了NX的運(yùn)動范圍。

卓越的伸展距離

單個的NX系列手臂可以達(dá)到2或3個FOUP而不需要線性軸。該手臂被設(shè)計為高剛性，以及可以利用窄間距訪問晶圓臺以及FOUP中的任意位置。

高吞吐量

NX系列實現(xiàn)了利用雙臂機(jī)械手，如NX520，從FOUP到校準(zhǔn)器然后到平臺200晶圓每小時（WPH）的吞吐量。

SEMI F47合規(guī)

NX型號可以瞬時響應(yīng)電波動，如電壓下降，并且在電壓恢復(fù)時自動恢復(fù)運(yùn)行。

SEMI S2合規(guī)

NX型號可以滿足對環(huán)境和人身安全的特殊考慮。

碰撞檢測

軟件和硬件組件都配備有碰撞檢測功能，以減少碰撞所造成精密、專用設(shè)備的損壞。