美國矽翔氣體質(zhì)量流量計 流量傳感器 FS4001 氮氣氧氣

FS4001系列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。獨特的封裝技術使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。

產(chǎn)品特點：

 

  - 傳感器靈敏度高,有極小的始動流量

  - 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計量,無需溫度壓力補償,保證了傳

  - 感器的高精度計量

  - 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高

  - 傳感器的零點穩(wěn)定度高

  - 全量程高穩(wěn)定性

  - 全量程高精確度和優(yōu)良的重復性

  - 低功耗

  - 低壓損

  - 響應時間快

 

主要參數(shù)：

性能參數(shù) FS4001 單位

通 徑 1.0 1.8 mm

*大流量 30, 100, 200 500, 1000 SCCM

量程比 ≥100:1

精 度 ±(1.5+0.2FS) %

重復性 0.25 %讀數(shù)

零點輸出飄移 ±30 mV

輸出飄移 ±0.12 %/oC

響應時間 4, 8, 16, 33 , 65 , 131 mses

工作電源 8~18Vdc,50mA

輸出方式 線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc

*大流量壓損 350 300 pa

*大工作壓力 0.5 MPa

工作溫度 -10 ~ +55 oC

存儲溫度 -20 ~ +65 oC

工作濕度 <95%RH（無結冰、無凝露）

機械接口 可拆式軟管接頭

校準方式 空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa

重量 15 g